半導體產(chǎn)業(yè)的制造過(guò)程涉及上百種電子氣體，這些氣體往往具有易燃易爆、有毒有害、腐蝕性、窒息性等特點(diǎn)，如何保障用氣安全？

半導體產(chǎn)業(yè)爆發(fā)式發(fā)展

隨著(zhù)AI、人形機器人等行業(yè)的爆發(fā)式發(fā)展，半導體產(chǎn)業(yè)迎來(lái)巨量增長(cháng)空間，預計2030年其市場(chǎng)規模將突破1萬(wàn)億美元大關(guān)。

半導體產(chǎn)業(yè)是以硅、鍺、氮化鎵等半導體材料為基礎的戰略性支柱產(chǎn)業(yè)，也是典型的技術(shù)密集、資金密集型產(chǎn)業(yè)。其制造工藝復雜，涵蓋硅片制造、芯片設計、光罩制作、芯片制造、封裝測試等環(huán)節的上千道工序，下游涉及集成電路、顯示面板、醫療健康、消費電子、照明、通信、光伏、新能源汽車(chē)等眾多應用領(lǐng)域。

由于半導體晶圓制程的不斷發(fā)展，線(xiàn)寬越來(lái)越窄，對生產(chǎn)工藝的要求也越來(lái)越高，這些因素都對半導體晶圓工廠(chǎng)各個(gè)系統的持續無(wú)故障運行能力以及所提供給生產(chǎn)工藝制程相關(guān)的原料的品質(zhì)提出了更高的要求。

電子氣體安全問(wèn)題不容忽視

在半導體生產(chǎn)制造過(guò)程中，電子氣體是僅次于硅片的第二大制造材料，品類(lèi)多達上百種，被譽(yù)為“芯片血液”。

電子氣體包括電子大宗氣體和電子特種氣體兩大類(lèi)，其中電子大宗氣體是生產(chǎn)制造過(guò)程中的環(huán)境氣、保護氣和載體，而電子特種氣體主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等芯片制造工藝之中。

與此同時(shí)，在半導體生產(chǎn)制造過(guò)程中，還可能產(chǎn)生酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣、一般尾氣等氣體。

電子氣體與廢氣多為易燃易爆、有毒有害、腐蝕性、窒息性氣體，而半導體制造車(chē)間多為無(wú)塵密閉環(huán)境，且配備回風(fēng)系統，一旦發(fā)生危險氣體泄漏，哪怕是非常微小的泄漏，也可能引起爆炸、人員窒息或中毒事故。因此，用氣安全問(wèn)題不容忽視，必須進(jìn)行氣體檢測。

《特種氣體系統工程技術(shù)標準》(GB50646-2020)中有強制性規定，儲存、輸送、使用特種氣體的下列區域或場(chǎng)所應設置特種氣體探測裝置：

①自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處；
②生產(chǎn)工藝設備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處，工藝設備的排風(fēng)管口處；
③生產(chǎn)工藝設備的特種氣體的廢氣處理裝置排風(fēng)出管口處；
④惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區域；
⑤自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設備間；
⑥其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

此外，該標準還對報警設定值、響應時(shí)間、安裝位置等進(jìn)行了相關(guān)規定。

漢威半導體工廠(chǎng)氣體檢測儀

漢威科技集團推出的半導體工廠(chǎng)氣體檢測儀GD-HS10，是一款專(zhuān)門(mén)用于檢測半導體工廠(chǎng)中可燃、有毒、有害氣體泄漏的高端產(chǎn)品，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點(diǎn)，可檢測氨氣、砷化氫、氯氣、硅烷等上百種氣體，適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。

高精度微小泄漏檢測
每種氣體都有對應的溫度補償及融合算法，零點(diǎn)自動(dòng)校準，可實(shí)現精準微小泄漏檢測，性能達行業(yè)領(lǐng)先水平。

支持上百種氣體
支持電化學(xué)、催化燃燒、光學(xué)等多種原理傳感器，支持上百種氣體，可滿(mǎn)足客戶(hù)個(gè)性化檢測需求。

電磁泵吸設計
采用電磁泵吸原理吸氣，磨損小，壽命長(cháng)，流量恒定，30米超長(cháng)進(jìn)氣管，快插接頭設計，安裝便捷。

點(diǎn)陣式LCD大屏顯示
界面美觀(guān)易讀，氣體名稱(chēng)、濃度、報警情況等一目了然，適合國內用戶(hù)習慣。

目前，該產(chǎn)品已經(jīng)成功應用于多家半導體行業(yè)制造工廠(chǎng)，并獲得用戶(hù)的一致認可。

后摩爾時(shí)代，半導體行業(yè)的生產(chǎn)工藝難度不斷加大，生產(chǎn)制造成本不斷升高，電子特種氣體的成本占比高達13%，部分高端進(jìn)口氣體價(jià)格非常昂貴，每公斤價(jià)格可達數萬(wàn)元，氣體泄漏不僅會(huì )造成財產(chǎn)損失，還可能造成工傷事故。漢威科技集團在有毒有害、易燃易爆等氣體安全監測領(lǐng)域擁有深厚的技術(shù)積淀與服務(wù)經(jīng)驗，將以半導體工廠(chǎng)氣體檢測儀為支撐，助力半導體企業(yè)安全生產(chǎn)，降本增效。